研究集成电路制造行业主要的挥发性有机物VOCs排放源及VOCs主要因素,并针对VOCs源头、历程控制与最后治理,提出切实有用的减排步伐建议, 为集成电路生产企业VOCs治理研究提供参考。 挥发性有机物(V o la tile O rganic C om pounds),指20时蒸汽压不小于10Pa 或101. 325K Pa标准大气压下,沸点不高260度的有机化合物或者现实生 产条件下具有以上响应挥发性的有机化合物(甲烷除外)的统称。大大都VOCs具有大气化学反应活性,其作为形成臭氧和PM2.5的要害前体物,也是灰霾和光...
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